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長春Yoplay光電有限公司


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  產品展示
 
 光學精密機械 >> 幹涉儀 >> 超高精度激光幹涉儀
 
產品編號:
10251331916
產品名稱:
超高精度激光幹涉儀
規  格:
產品備注:
產品類別:
光學精密機械
 
   產 品 說 明

D7λ/1000超高精度激光幹涉儀,設計緊湊、用戶界麵友好0.6nm極好的測量度。非常好地測量高精密光學係統複雜的表麵形狀、大尺寸非球麵偏差;揭示起源於製造技術的麵形特征和缺陷。這對於建造精密的高端衛星相機、高分辨望遠鏡、強大的微芯片,乃至超快計算機都是不可或缺的重要手段。

 

 

主要特點

D7型激光幹涉儀提供0.6nm的測試準確度和極好的重複性(世界紀錄)

• RMS重複性< 0.06 nm (λ/10500)

檢測球麵、平麵、非球麵及自由形體

測量光學係統的透射波陣麵

曲率半徑測量

數據獲取相移幹涉測量法(PSI)

尺寸:490mm x 300mm x 260mm

D7型激光幹涉儀:緊湊可靠使用方便

測試過程簡便,隻需三個步驟:

  1. 把待測的光學係統或部件放在支架上

2. 用軟件界麵準直調整測試部件

3. 調整幹涉條紋並按動測量按鈕即可進行測量

 

優點:

優點

好處

理想參考:由於采用物理參考,因而沒有傳輸誤差

1. 省時因為無需改變大量參考

2. 節省成本因為無需購買昂貴的參考裝置

比標準性能傳輸的菲索球麵幹涉儀有超過100倍更高的精度

節省時間和成本:因為不需要中間儀器和附加的方法來提高精度

D7型激光幹涉儀比其它激光幹涉儀可檢驗更多的表麵特征

由於在安裝和光學係統上市之前更好地揭示了製造誤差,從而節省了成本

穩定性和堅固性

1. 省時:因為極好的重複性提供準確的測試數據,無需反複地證明測試結果

2. 節省成本:因為D7型激光幹涉儀不需要特殊的(工作)環境條件

應用範圍寬

節省時間和成本:由於緊湊和簡單的設置,可在實驗室或工廠(現場)垂直和水平方向使用D7型激光幹涉儀

沒有可追溯的誤差

由於在測量非球麵和自由形體時簡化的設置,從而節省時間和成本

 

主要技術參數

性能

精度

0.6 nm (λ/1000)

RMS波前重複性

0.23 nm (λ/2800)

數據采集時間

10ms

光學

係統數值孔徑(NA)

0.6 (F 0.83)

係統成像數值孔徑(NA)

0.55 (F 0.91)

成像變焦係統

軟件界麵控製4 x光學變焦

成像

具有偽影去除選項的相幹(無散射玻璃)

CCD相機

0.5k × 0.5k (可選:1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k,也可按照客戶要求)

高分辨率

λ/8000

像素深度(數字化)

12

曝光時間

最少40μs

傳感器像素分辨

500×500,直徑50mm

聚焦控製

電動及軟件界麵控製

光學聚焦範圍

±2

激光器

激光類型和波長

穩定的He-Ne激光器,波長:632.8nm

激光功率

2mW(更高功率可根據用戶的要求提供)

偏振

可調節測試表麵性質

相幹

100

係統

數據采集

相移幹涉測量(PSI)或靜態

PSI方法

PZT電子相移

準直範圍

±2.5

準直類型

雙點

準直十字線

計算機產生

*接受定製解決方案

 

D7型激光幹涉儀的應用:

I. 波前質量

投影鏡頭

望遠鏡

顯微鏡

光學鏡頭

 

II.表麵光學質量

球麵

平麵

角隅稜鏡

非球麵

自由形體

參考光學係統

 

III.曲率半徑

把長距離傳感器與D7激光幹涉儀提供的最高聚焦精度相結合,可獲得ppm RoC精度

 

IV. 成像質量

在部署之前驗證你的光學係統的分辨能力

點擊數:35  錄入時間:2018/10/25 【打印此頁】 【關閉
 
 
 

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